FLY-MX导电粒子FPD显微镜大行程移动平台设计MX系列机型采用4\6平台设计，可透用于相应尺寸的晶圆或FPD检测，也可用于小尺寸样品的阵列检测。MX-4R/MX4RT:4英寸平台，移动范围：105mmX105mmMX-6R/MX6RT:6英寸平台，反射照明移动范围：158mmX158m

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