WGL光电轮廓仪

型   号WGL                    

专利号：ZL200610148202.6

价   格：￥98000.00

应用范围： 光电轮廓仪的应用范围很广，它主要用于测量各种精密加工零件表面的微观三维结构，如表面粗糙度；零件表面的刻线；刻槽的深度和镀层的厚度等。具体地说，如量块、光学零件表面的粗糙度；标尺、度盘的刻线深度；光栅的槽形结构；镀层厚度和镀层边界处的结构形貌；磁（光）盘、磁头表面结构测量；硅片表面粗糙度及其上图形结构测量等等。由于仪器测量精度高，重复性好，具有非接触和三维测量等特点，并采用计算机控制和快速分析、计算测量结果，本仪器适用于各级测试、计量研究单位，工矿企业计量室，精密加工车间和高等院校及科学研究单位等。

产品详情介绍

★  仪器由倒置式改为正置式，更符合人们的操作习惯；

★  应用CMOS代替CCD，省去图象卡并提高了质量；

★  用低压电源代替高压电源，节省了仪器成本；

★  用国产的代替德国进口压电陶瓷，解决了关键部件的进口难题；

★  增加了自动步距和亮度校正程序，同时增加了局部放大三维立体图功能；

主要技术参数

◆   表面微观不平深度测量范围：130?1nm

◆   在连续表面上，相邻二象素之间没有大于1/4波长的高度突变时;100-1nm

◆   相邻二象素之间含有大于1/4波长的高度突变时；130-1nm

◆   测量的重复性：sRa≤0.5nm     

◆物镜倍率：40X     

◆数值孔径：065

◆   工作距离;05nm         

◆仪器现场 目视：ф025 mm 摄象：0.13X0.13mm

◆   仪器放大倍数 目视：500X  摄象（计算机屏幕观察）：2500X

◆   接收器测量列阵：1000X1000    

◆象素尺寸：：5.2X5.2μm

◆   测量时间采样（扫描）时间：1S

◆   仪器标准镜 反射率（高）：～50%  反射率（低）：～4% 

◆仪器净重：28㎏

◆   照明光源：白炽灯6V 5W 

◆绿色干涉滤光片波长：λ=530nm  半宽度λ=10nm

◆   主显微镜升程：110nm           

◆工作台升程：5nm

◆   X、Y方向移动范围：～10mm      

◆工作台旋转运动范围：360°

◆   工作台倾斜范围：±6°   

◆计算机系统：P4，2.8G以上，内存1G以上17才纯平显示器

◆   外形尺寸：主机300mm×300mm×500mm  电源180mm×280mm×200mm